1.機械真空泵、蒸氣流真空泵工作液
水、汞、油是水環泵、機械泵、分子泵、噴射泵、擴散泵所采用的工作液體與密封液體。蒸氣噴射泵、擴散泵依靠工作液蒸氣進行噴流或擴散抽氣。因此在泵的鍋爐工作溫度下，希望工作液具有足夠的蒸氣壓，而在常溫下由于油蒸氣可能會彌漫整個被抽真空容器，成為極限真空的限制因素，因此又希望它在常溫下有低的飽和蒸氣壓。除了對其蒸氣壓特性有一定要求外，好的熱穩定性、抗氧化性及在室溫下有適中的流動性也是燕氣噴射泵、擴散泵所要求的。真空泵油大體可分為:石油烴、酷、硅油、鹵化碳氫化物、醚五大類。
2.吸氣劑和吸氣劑泵材料
(1)電子管用吸氣劑
吸氣劑一般分蒸散型和非蒸散型二類。蒸散型有時也稱擴散型或閃燒型，如:鈣、鎂、銀、鋇等，其中以鋇最為常用。非蒸散型有時也稱涂層型或體積型，如:錯、欽、牡等，其中錯是常用吸氣劑的主要組分。近年來發展的蒸散型摻氮吸氣劑，非熬散型的鉻鋁、鉻石墨體吸氣劑有著優異的吸氣性能。
(2)升華泵和濺射離子泵的工作金屬
鐵、鉭、鈮、鉬、釔、鈧等金屬均曾用作各種吸氣劑泵和離子泵的工作金屬。